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在MEMS器件中,用的较多的构件有薄膜材料,对其力学性能的分析是MEMS器件分析的关键所在.由于受到残余应力,弹性模量的误差,薄膜晶格的各向异性,泊松比,微结构的疲劳和破坏韧性等的影响,实际测量数据和理论公式总存在一些误差.本文通过实际测量的数据在Matlab环境下的分析,得到如下结论:当微结构梁的挠度小于600μm时,力与挠度的关系理论公式与实际数据对比是比较一致的,大于600μm的实验数据渐渐地偏离理论上的直线公式,呈现出非线性的特性.