论文部分内容阅读
GE检测控制技术旗下压力传感技术部门推出的沟槽刻蚀谐振式（TERPS）压力传感器技术平台RPS8000，在显著提高与传统谐振压力技术相关的压力测试范围的能力的同时，提供10倍于现有的压阻式压力传感器的精度和稳定性。沟槽刻蚀谐振式压力传感器是在对现有硅谐振压力传感器的设计和制造过程进行深入的研发结果，它在从航空航天到海洋工程，海底勘探作业，从过程工艺到工业仪器设备等领域得到广泛应用。