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Effects of Low-Frequency Source on a Dual-Frequency Capacitive Sheath near a Concave Electrode
Effects of Low-Frequency Source on a Dual-Frequency Capacitive Sheath near a Concave Electrode
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzl1988
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
HAO Meilan
DAI Zhongling
WANG Younian
【机 构】
:
Department of Physics and Electronic Engineering, Handan College, Handan 056005, China“,”School of P
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2014年4期
【关键词】
:
capacitively coupled plasma
sheath
fluid
two dimension
LF power
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本文通过对荣华二采区10<
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