【摘 要】
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联邦德国 Legbold 公司生产的 INA 3是一种新型的有效的分析仪器,它首次将溅射中性粒子质谱技术(Sputtered Neutrals Mass Spectrometry SNMS)与二次离子质谱技术(Secondary
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联邦德国 Legbold 公司生产的 INA 3是一种新型的有效的分析仪器,它首次将溅射中性粒子质谱技术(Sputtered Neutrals Mass Spectrometry SNMS)与二次离子质谱技术(Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS)结合在同一个仪器中。与 SIMS 不同,SNMS 是把用高能量的初级离子轰击表面得到的中性粒子进行质量分析的。把由低压高频等离子体发出的离子加速向待测样品轰击,由之产生的中性粒子再通过上
The INA 3 from Legbold, Federal Republic of Germany, is a new and effective analytical instrument that for the first time combines Sputtered Neutrals Mass Spectrometry (SNMS) with Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS) In the same instrument. Unlike SIMS, SNMS performs mass analysis on neutrals that are bombarded with surfaces with high-energy primary ions. The ions emitted by the low-pressure high-frequency plasma are accelerated to bombard the sample to be tested, and the neutral particles generated therefrom are further passed
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