高精细度光学参考腔的自主化研制

• 作 者: 刘军 陈帛雄 许冠军 崔晓旭 白波 张林波 陈龙 焦东东 王
• 机 构: 中国科学院大学,中国科学院国家授时中心、时间频率基准实验室,中航工业西安飞行自动控制研究所
• 出 处: 物理学报
• 发表日期: 2017年8期
• 关键词: 超稳腔 超低膨胀系数 精细度 光钟 ultra-stable cavity ultra low expansion finesse optical clock
• 基金项目: 国家重大科研仪器设备研制专项（批准号：61127901）, 国家自然科学基金（批准号：11273024,61025023）,国家自然科学基金青年科学基金（批准号：11403031）资助的课题.

高精细度超稳光学参考腔是获得超窄线宽激光的核心部件.本文报道了面向空间应用的高精细度球形超稳光学参考腔自主化研制及其初步测试结果.设计球形腔体直径为80 mm,腔长78 mm,采用平-凹腔镜结构,凹镜曲率半径为0.5 m.使用有限元方法计算了该参考腔的震动敏感度,最佳支撑位置的震动敏感度小于1×10^-10/g.采用超光滑表面三级抛光技术实现光学表面粗糙度小于0.4 nm（rms）的超精密加工,采用双离子束溅射法实现工作波长反射率大于99.999%、损耗小于4 ppm腔镜镀膜,干式光胶方法键合腔