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简要叙述了小孔流量法测量ＨｇＣｄＴｅ红外探测器放气量实验原理和实验装置。给出了ＨｇＣｄＴｅ红外探测器从上排气台起至剪管，排气周期１４天内的放气量。简述了杜瓦瓶排气周期和真空寿命的关系。
延长排气周期能提高杜瓦瓶的真空寿命：对HgCdTe红外探测器的放气量测试
【摘 要】
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简要叙述了小孔流量法测量ＨｇＣｄＴｅ红外探测器放气量实验原理和实验装置。给出了ＨｇＣｄＴｅ红外探测器从上排气台起至剪管，排气周期１４天内的放气量。简述了杜瓦瓶排气周期和真空寿命的关系。
【机 构】
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昆明物理研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1994年2期
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