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CZ生长Si单晶中石墨件对径向杂质分布的影响

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guanghuisir

【作 者】

：

徐玉忠 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1999年1期

【关键词】

：

CZ生长 硅 单晶 石墨 径向杂质分布 

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