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我们利用MEMS技术制造传感器已经有一段时间了,最具代表性的是压力传感器,在压力传感器中我们用硅来蚀刻振动膜.而目前,采用更成熟的MEMS技术的产品即将进入市场,并且有望在诸如车辆碰撞传感领域取得优势地位.
浅谈MEMS(微电子机械系统)技术
【摘 要】
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我们利用MEMS技术制造传感器已经有一段时间了,最具代表性的是压力传感器,在压力传感器中我们用硅来蚀刻振动膜.而目前,采用更成熟的MEMS技术的产品即将进入市场,并且有望在
【出 处】
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汽车维修与保养
【发表日期】
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2002年9期
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