【摘 要】
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1.概要本公司继OMR—81在集成电路应用中得到好评后,用完全独特的方法,研制成功了一种在曝光中氧的影响很小的超高纯度的光致抗蚀剂。
1. Outline After OMR-81 was well r
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1.概要本公司继OMR—81在集成电路应用中得到好评后,用完全独特的方法,研制成功了一种在曝光中氧的影响很小的超高纯度的光致抗蚀剂。
1. Outline After OMR-81 was well received in the application of integrated circuit, OMR-81 succeeded in developing a kind of ultra-high purity photoresist with little influence on the exposure of oxygen by a completely unique method.
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