【摘 要】
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本文介绍了应用电荷抽取效应测量MOS晶体管中少子复合寿命的方法.这种方法的优点是可以测定经过整个制造工艺过程后MOS晶体管中的少子体复合寿命和表面复合寿命,而且测试设备
【机 构】
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华东师范大学物理系,华东师范大学物理系,华东师范大学物理系
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本文介绍了应用电荷抽取效应测量MOS晶体管中少子复合寿命的方法.这种方法的优点是可以测定经过整个制造工艺过程后MOS晶体管中的少子体复合寿命和表面复合寿命,而且测试设备和数据处理都比较简单.文中给出了我们在室温和液氮温度下的初步测量结果,并对结果和方法本身进行了一些讨论.
This paper presents a method for measuring the lifetime of minority carriers in MOS transistors by using the charge extraction effect.The advantage of this method is that it can measure the composite lifetime and the recombination lifetime of minority carriers in the MOS transistor after the entire manufacturing process and the testing equipment and data processing Are relatively simple.The preliminary results of our measurements at room temperature and liquid nitrogen temperature are given and some discussion of the results and the method itself is given.
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