不锈钢半球面的超精加工技术及其检测方法

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应用光学冷加工的工艺方法和检测技术,制造了用于气体静压球面轴承的高精度不锈铜半球面——凹球面球座(半径为62.77毫米)和凸球面球轴(半径为62.76毫米)。实测结果表明:凸凹半球的截面不圆度小于0.2微米,表面光洁度为▽14a(R_2<0.05微米),球座球轴的球面半径加工误差小于3微米。 The application of optical cold process technology and testing technology to manufacture high precision stainless steel hemispherical spherical concave spherical seat (62.77 mm in radius) and convex spherical spherical shaft (62.76 mm in radius) for gas hydrostatic spherical bearings, . The measured results show that the irregularity of convex and concave hemispheres is less than 0.2 μm, the surface roughness is ▽ 14a (R_2 <0.05 μm), and the error of spherical radius processing of ball bores is less than 3 μm.
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