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本文利用高分辨电镜对两种不同方法制备的纳米固体材料的微观结构进行了研究。结果表明,在惰性气体凝聚加原位加压法制备的纳米固体Pd中,晶界上既有有序的区域,同时又存在局部不完整或无序的区域以及纳米级的空洞,而且晶粒内部及晶界区存在大量的缺陷,在非晶晶化法制备的Ti-Ni-Si和Fe-Mo-Si-B纳米合金中,晶界基本上为有序结构,没有明显的无序枢或纳米空洞存在,缺陷的密度也较低,在两种不同方法制备的纳