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针对光学元件表面的微观形貌结构呈现出随机性、无序性和多尺度性，反映出一种非平稳的随机过程．针对这一问题，利用光学元件表面具有微观结构上的统计自相似性特征，首先通过结构函数法计算光学表面的分形维数，分析了分形维数与表面传统评价参数峰谷（PV）值近似线性的关系，验证了可以利用分形维数来评价光学元件表面精度；其次，建立了分形维数与抛光参数的响应曲面回归模型，为了通过控制显著性较强的抛光参数来获取更好的光学元件表面质量，评价了各抛光参数对分形维数的影响权重．