微晶/非晶Si∶ C∶ H半导体多层膜的结构研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuanka11
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用普通辉光放电分解硅烷的方法,沉积了具有交替微晶和非晶Si∶C∶H亚层的多层膜样品。从喇曼散射结果分析,样品具有明显的微晶和非晶两相结构;在低角度X射线衍射谱中,观察到了多级的衍射峰,证明了多层结构的存在 Multilayer film samples with alternating microcrystalline and amorphous Si: C: H sublayers were deposited using a common glow discharge disintegration silane. From the results of Raman scattering, the samples have obvious microcrystalline and amorphous two-phase structure. In the low-angle X-ray diffraction spectrum, multi-level diffraction peaks are observed, which proves the existence of multilayer structure
其他文献
目次一、关于香港特别行政区的法律适用问题二、关于新投资方式的法律问题三、关于世界贸易组织(WTO)的法律问题1997年10月24日至28日,中国国际经济法学会’97年年会暨学术研
欧洲杯看得我心力交 瘁。我看好的德国队小组赛就 被送回了家,我推崇的葡萄牙 队在半决赛中戛然止步,而我最喜欢的荷兰队也在一场莫名其妙的比赛中拱手相让。 最后法国人统治了
在分析能源基地传统一体化发展的基础上,进一步研究了能源基地一体化发展的新模式。首先,分析了当前我国能源发展面临的新形势;其次,分析了现阶段能源基地发展中的一些弊端;
9月2日,国务院总理温家宝主持召开国务院常务会议,会议决定从10月1日起,在公共卫生与基层医疗卫生事业单位实施绩效工资制。这是继今年初义务教育学校先行试水之后,事业单位
目次一、语义分析二、“Regulation”的经济/贸易政策含义三、GATT/WTO文本的分析“Regulation”是WTO协定中的一个重要概念。但目前我国国内对此概念的理解尚不统一。鉴于此
4月8日,上千名拉祜族同胞欢聚在云南民族博物馆,隆重庆祝一年一度的拉祜族传统节日——葫芦节(阿朋阿龙尼)。省委常委、省委统战部 On April 8, thousands of Lahu people g
一、概论英联合王国建立固定样地往往在林分郁闭以后,这样可以保证所选林分既健康、整齐而又适度郁闭。然而收获表上并没有林分郁闭时间的资料。但当设计乔林一放牧体制模型
基于近三年排名前10位的独立学院的图书馆网页,调查了解各馆馆舍、馆藏资源建设和参考咨询服务情况,就网站内容、社会服务关注度、资源访问权限、导航服务、自建数据库开发利
8月11日的人民日报登了一封来信,批评北京街道上许多大商店和大饭店用繁体字作牌匾和广告。信中举了一连串例子:“京伦饭店、建国饭店、赛特饭店、长富宫饭店……。” 这些
国务院决定,我国加入1983年《国际热带木材协定》。加入该协定的手续由外交部办理。 The State Council decided that China should accede to the 1983 International Tro