【摘 要】
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采用溶胶凝胶工艺 ,合成出纳米晶La0 .7Sr0 .3FeO3薄膜 ,薄膜为钙钛矿结构 ,平均粒径在 4 0nm左右。利用该薄膜采用平面工艺制作出微米尺寸、室温工作的La0 .7Sr0 .3FeO3纳米
【机 构】
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吉林大学电子工程系!集成光电子国家重点实验室吉林大学分区超硬材料国家重点实验室,吉林长春130023,吉林大学电子工程系!集成光电子国家重点实验室吉林大学分区,吉林大学电子工程系!集成光电子国家重点实
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采用溶胶凝胶工艺 ,合成出纳米晶La0 .7Sr0 .3FeO3薄膜 ,薄膜为钙钛矿结构 ,平均粒径在 4 0nm左右。利用该薄膜采用平面工艺制作出微米尺寸、室温工作的La0 .7Sr0 .3FeO3纳米薄膜栅OSFET式气敏元件 ,并对其气敏性能进行了测试 ,发现器件的漏电流在乙醇气体中增大 ,在氮氧化物中降低。
The sol-gel process was used to synthesize nanocrystalline La0.7Sr0.3FeO3 thin films with a perovskite structure and an average particle size of about 40 nm. Using this thin film, the gas sensor of La0.7Sr0.3FeO3 nano-grid with OSFETs of micron size and room temperature was fabricated by planar technology. The gas sensing performance of La0.7Sr0.3FeO3 nano-thin film gate was tested and the leakage current of the device was increased in ethanol gas. Decreased in nitrogen oxides.
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