【摘 要】
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第六章 MIC真空规系统的性能测量 6—1 无正弦波调制时的静态特性 MIC真空规管的特性是在无正弦波调制(即利用直流放大与检出系统)情况下,在10~(-7)托压强区的氮气中进行的
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第六章 MIC真空规系统的性能测量 6—1 无正弦波调制时的静态特性 MIC真空规管的特性是在无正弦波调制(即利用直流放大与检出系统)情况下,在10~(-7)托压强区的氮气中进行的。 6—1—1 离子源特性图8是离子源灵敏度因数K与各种电子
Chapter VI Performance Measurement of MIC Vacuum Gauge System 6-1 Static Characteristics without Sine Wave Modulation The characteristic of MIC vacuum gauge is that in the absence of sine wave modulation (ie, using direct current amplification and detection system) -7) under pressure in the nitrogen zone. 6-1-1 Ion Source Characteristics Figure 8 shows the ion source sensitivity factor K and various electrons
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