【摘 要】
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用数学建模的方法将相同结构参数的离子束溅射薄膜压力传感器和粘贴式应变计压力传感器动态特性做比较 ,二者在瞬态特性上基本相同。但在宽脉冲方波气压激励下 ,所用溅射薄膜
【机 构】
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中国航天科技集团公司第701研究所!北京100074,中国航天科技集团公司第701研究所!北京100074
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用数学建模的方法将相同结构参数的离子束溅射薄膜压力传感器和粘贴式应变计压力传感器动态特性做比较 ,二者在瞬态特性上基本相同。但在宽脉冲方波气压激励下 ,所用溅射薄膜压力传感器出现响应失真现象。对问题的产生原因和机理进行分析 ,认为问题的产生原因可能在于方波压力上升沿导致的被测气体温度变化。
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