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本文将酸碱滴定法用于 GaP 半导体器件的生产中,测定了半导体工艺中所掺微量元素N 的含量.结果准确,精度高,从而实现了半导体中掺 N 浓度的控制.
酸碱滴定法测定GaP半导体工艺中所掺N浓度的研究
【摘 要】
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本文将酸碱滴定法用于 GaP 半导体器件的生产中,测定了半导体工艺中所掺微量元素N 的含量.结果准确,精度高,从而实现了半导体中掺 N 浓度的控制.
【机 构】
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甘肃教育学院教务处,甘肃教育学院物理系兰州,730000,兰州
【出 处】
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甘肃联合大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年3期
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