【摘 要】
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在分析磁约束溅射放电特性的基础上建立了相应的理论模型，给出了金属原子的平均密度与放电电流密度的关系，以及平衡态金属原子密度的空间分布特点．从实验上定性验证了理论预测的
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室
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在分析磁约束溅射放电特性的基础上建立了相应的理论模型，给出了金属原子的平均密度与放电电流密度的关系，以及平衡态金属原子密度的空间分布特点．从实验上定性验证了理论预测的正确性
Based on the analysis of the characteristics of the magnetic confinement sputtering discharge, a theoretical model is established, and the relationship between the average density of metal atoms and the discharge current density and the spatial distribution of the equilibrium metal atom density are given. The correctness of theoretical prediction is verified qualitatively from experiments
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