【摘 要】
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在实际设计中,真空度、磁场强度、引出电极结构均会对离子源的束流品质产生不同程度的影响。1)真空度的影响真空度不够高对离子源束流会产生两方面的影响:一是进人离子源腔体
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在实际设计中,真空度、磁场强度、引出电极结构均会对离子源的束流品质产生不同程度的影响。1)真空度的影响真空度不够高对离子源束流会产生两方面的影响:一是进人离子源腔体的气体过多,导致引出高压与离子源间的真空度变差,介电常数变小,发生击穿,在引出高压电极产生放电打火;二是氘气以外的杂质气体进入离子源,使得离子源有效的
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