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【摘 要】
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在自制的２４５０ＭＨｚ／５ｋＷ不锈钢谐振空型微波等离子体学气相沉积装置中研究了基片预处理和工艺参数对微波等离子体化学气相沉积金刚石膜质量的影响，研究了提高成核密度和沉积速率的方法，用ＳＥＭ，ＸＲＤ，ＦＴＩＲ，Ｒａｍａｎ和ＡＦＭ分
【机 构】
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武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室
【出 处】
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硅酸盐学报
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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武汉青年科技晨光计划项目! (2 0 0 0 50 0 4 0 34 ) ,,湖北省自然科学基金!资助项目 (99J0 70 )
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