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在玻璃基底上通过两次蒸发的新技术制备ＣｕｘＳ薄膜。硫在衬底温度１６０℃￣２００℃时与淀积在衬底上的铜直接发生反应，生成ＣｕｘＳ薄膜。实验发现，生成的ＣｕｘＳ薄膜与衬底温度有很大关系，１６０℃时生成的ＣｕｘＳ呈黄绿色，而在１９０℃左右生成的多晶状的ＣｕｘＳ薄膜，颜色为深绿色。通过ＸＲＤ、ＳＥＭ、ＴＳ等方法对样品的组织结构进行了研究和探讨。