【摘 要】
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针对纳米切削中实时检测切削力的难题，提出了基于扫描电镜(SEM)原位纳米切削平台，实时检测刀杆挠度变化的有效方法．通过视频采集切削过程，对视频进行分帧处理得到刀具切削过程的
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院,华为北京研究所
【出 处】
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天津大学学报(自然科学与工程技术版)
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针对纳米切削中实时检测切削力的难题，提出了基于扫描电镜(SEM)原位纳米切削平台，实时检测刀杆挠度变化的有效方法．通过视频采集切削过程，对视频进行分帧处理得到刀具切削过程的图片．选取特征图像，进行去噪、滤波、二值化、腐蚀及边缘提取等图像处理后，提取各帧图像刀具区域目标点像素信息，计算得到刀杆挠度的变化．将刀杆挠度值与有限元仿真所推得的力与挠度的关系相结合，定量给出挠度与切削力的数据，获得单晶硅切削中切削力的大小及波动情况，解决了SEM原位纳米切削加工平台的切削力实时检测难题，为分析实际加工中刀具变形行为以
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