光学光刻的过去、现在和未来

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1906年LeedeForest发明了真空管.使人类进入了无线电时代,电子管成为电子工业的基石。1947年Bell实验室的William Shokley,John Bardeen和Walter Bartain发明了晶体管,1958年Texas仪器公司的Jack Killby推出了第一块集成电路(IC).1971年Intel公司推出了第一块集成2300个晶体管的4004微处理器,使人类进入了信息时代,而IC也成为现代工业的基石。
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