论文部分内容阅读
真空微电子学（VME）是研究利用现代微细加工技术在芯片上制造集成化的微型真空电子器件的一门新兴的前沿学科。1988年第一届国际真空微电子学会议之后，VME领域的研究工作十分活跃。真空微电子传感器具有抗辐射、体积小、灵敏度高、温度稳定性好，以及制作工艺与集成电路（IC）及微电子机械系统（MEMS）工艺类似，便于集成化批量生产等优点，在航空、航天、智能机器人等高科技领域有很好的应用前景。