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Nonlinear Solubility Behavior of Polymer and Oligomer Resists at Electron Beam Modification
【机 构】
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InstituteofElectronics,Instituteofinformatics,HiroshimaInstituteofTechnology
【出 处】
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材料科学与工程：中英文B版
【发表日期】
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2011年4期
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