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在Fizeau平面干涉仪上,配备一Twyman型分束器,以构成一种便于使用的平面重程干涉测量法.误差分析指出:这种结构可以实现,有一定实用价值.实验表明:检测低反射光学元件,其灵敏度比之通常的Fizeau平面干涉法高1～2倍,检测高反射光学件,则可提高7～9倍.
一种便于使用的平面重程干涉测量法
【摘 要】
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在Fizeau平面干涉仪上,配备一Twyman型分束器,以构成一种便于使用的平面重程干涉测量法.误差分析指出:这种结构可以实现,有一定实用价值.实验表明:检测低反射光学元件,其灵敏度比之通常的Fizeau平面干涉法高1～2倍,检测高反射光学件,则可提高7～9倍.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1983年3期
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