【摘 要】
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目前市场上功率半导体器件漏电流测试仪的最高测试电压为3000V，10kV级功率半导体器件已经应用，因此目前的测试设备不能满足应用需要。设计了智能化功率半导体器件漏电流测试仪，
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目前市场上功率半导体器件漏电流测试仪的最高测试电压为3000V，10kV级功率半导体器件已经应用，因此目前的测试设备不能满足应用需要。设计了智能化功率半导体器件漏电流测试仪，可以测试万伏级功率半导体器件的漏电流，采用MK60DN512ZVLL10作为主控芯片，基于迪文触摸屏实现人机交互，通过串行异步方式实现主控制器与触摸屏之间的通讯，触摸屏可以实现测试过程的控制和测试结果的实时显示。试验结果表明，该测试仪很好地实现了高压功率半导体漏电流的准确测试。
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