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期刊论文
薄膜生物电极的设计与工艺探讨
薄膜生物电极的设计与工艺探讨
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ww4102001
【摘 要】
:
介绍了利用薄膜混合集成电路技术,设计和制作薄膜生物电极无源元件的方法,以及薄膜导电带淀积的新工艺。
【作 者】
:
章秀淦
【机 构】
:
福州大学电子科学系(350002)
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
1993年6期
【关键词】
:
混合集成电路
薄膜导电带
生物电极
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介绍了利用薄膜混合集成电路技术,设计和制作薄膜生物电极无源元件的方法,以及薄膜导电带淀积的新工艺。
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