中频磁控溅射钛酸锶钡薄膜的结构及性能

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mangix16

【摘要】

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用中频磁控溅射制备了钛酸锶钡Ba0.6Sr0．4TiO3（简称MF-BST）薄膜，并对该薄膜进行原位晶化。XPS表明，MF-BST薄膜的表面成分Ba0.58Sr0.42Ti1.01P2.95和膜体成分Ba0.6Sr0.4TiO3接近，主

【作者】

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廖家轩李恩求田忠许江杨海光

【机构】

：

电子科技大学电子科学技术研究院

【出处】

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稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2007年A01期

【关键词】

：

中频磁控溅射钛酸锶钡薄膜钙钛矿结构 barium strontium titanate film medium frequency magnetron s

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用中频磁控溅射制备了钛酸锶钡Ba0.6Sr0．4TiO3（简称MF-BST）薄膜，并对该薄膜进行原位晶化。XPS表明，MF-BST薄膜的表面成分Ba0.58Sr0.42Ti1.01P2.95和膜体成分Ba0.6Sr0.4TiO3接近，主要由钙钛矿结构的BST组成。AFM表明，MF-BST薄膜的表面光滑致密。XRD表明，MF-BST薄膜晶化完全，呈（111）择优。XTEM观察及XPS刻蚀表明MF-BST／Pt界面过渡层约2nm厚，含少量的TkPtyOz。MF-BST薄膜电容器具有高达1200的介电常数及低达

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