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从系统设计、空气处理、气流组织、净化方式、噪声控制等方面对日本“三机”和美国ＤＡＷ公司设计施工的两个洁净厂房工程进行比较。
两个微电子生产用洁净厂房的工程比较
【摘 要】
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从系统设计、空气处理、气流组织、净化方式、噪声控制等方面对日本“三机”和美国ＤＡＷ公司设计施工的两个洁净厂房工程进行比较。
【机 构】
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同济大学
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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1998年4期
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