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金刚石在红外区具有很好的透过率，可用作红外光学保护材料。另外，金刚石又具有优越的机械，热学，化学性能，可镀在其它红外材料上作为保护膜。用热丝化学气相沉积法在硅晶片上镀了一层金刚石膜，测量其红外透过率，在２．５－１５μｍ波长范围内透过率都有所增加，最高处透过率从５２％提高到６４．１％。
金刚石红外增透保护膜
【摘 要】
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金刚石在红外区具有很好的透过率，可用作红外光学保护材料。另外，金刚石又具有优越的机械，热学，化学性能，可镀在其它红外材料上作为保护膜。用热丝化学气相沉积法在硅晶片上镀了一
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1996年3期
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