【摘 要】
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目的提高TiN硬质涂层的厚度及各项力学性能。方法采用等离子增强PVD技术在钛合金（TC4）基体表面制备多层复合Ti/TiN涂层,对涂层进行扫描电镜（SEM）分析,采用划痕法表征涂层的结合强
【机 构】
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中国核动力研究设计院,西安建筑科技大学
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目的提高TiN硬质涂层的厚度及各项力学性能。方法采用等离子增强PVD技术在钛合金（TC4）基体表面制备多层复合Ti/TiN涂层,对涂层进行扫描电镜（SEM）分析,采用划痕法表征涂层的结合强度,用维氏显微硬度计测试涂层的显微硬度,利用销盘式摩擦磨损试验仪评价涂层的摩擦磨损性能。结果制备的多层复合Ti/TiN涂层厚度最高可达100μm,且未发生剥落等失效,结合强度相对于单层TiN提高了近3倍。由于Ti、TiN的多层复合调制作用,制备的Ti/TiN显微硬度测试表明复合涂层的显微硬度高达2700 HV0.025,
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