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介绍了正在现场使用的亚微米电子束曝光机激光工件台系统，详细论述了它的技术特征，分析了影响重复测量精度的误差因素，给出了系统各部分实际检测达到的技术指标。
亚微米电子束曝光机激光工件台系统
【摘 要】
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介绍了正在现场使用的亚微米电子束曝光机激光工件台系统，详细论述了它的技术特征，分析了影响重复测量精度的误差因素，给出了系统各部分实际检测达到的技术指标。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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“八五”期间军工科技攻关
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