【摘 要】
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常压高频等离子体由于其无电极污染、能量密度大、温度高及气氛可控的特点而得到了广泛应用,电子温度是影响其使用性能的关键参数,根据发射光谱使用玻尔兹曼图解法计算是最常
【基金项目】
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国家科技支撑计划项目(2013BAE03B01);国家国际科技合作专项(2012DFA51310);中国建筑材料科学研究总院青年科学基金项目(2013-YT-91)资助
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常压高频等离子体由于其无电极污染、能量密度大、温度高及气氛可控的特点而得到了广泛应用,电子温度是影响其使用性能的关键参数,根据发射光谱使用玻尔兹曼图解法计算是最常用且最可行的诊断方法,但由于跃迁几率数据可靠性、环境背景、仪器误差、数据处理误差等原因,不同研究者根据不同谱线计算的结果通常不具有可比性。为了得到可靠性高的电子温度计算结果,针对存在SiO2颗粒的常压高频空气等离子体,以光谱范围为200-1 077nm的7通道高分辨光纤光谱仪为测量工具,该研究讨论了元素、光谱段选择对计算结果可靠性的影响。结果表明
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