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文章运用有限元分析方法建立了无创应力传感器弹性体模型，采用面扫掠的方式对其划分网格，通过模态分析计算获得传感器弹性体在某一受影响的频率激励时其各阶的模态振型，根据分析结果，该传感器弹性体应避开受影响的频率范围内工作，以免产生共振。
基于有限元法的传感器弹性体模态分析设计
【摘 要】
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文章运用有限元分析方法建立了无创应力传感器弹性体模型，采用面扫掠的方式对其划分网格，通过模态分析计算获得传感器弹性体在某一受影响的频率激励时其各阶的模态振型，根据分析
【机 构】
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上海微电子装备有限公司
【出 处】
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企业科技与发展：上半月
【发表日期】
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2015年2期
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