钛衬底上沉积金刚石薄膜生长的研究

• 作 者: 刘 钊
• 机 构: 施耐德电气信息技术（中国）有限公司
• 出 处: 消费导刊
• 发表日期: 2020年44期
• 关键词: 钛 掺硼金刚石薄膜 热丝CVD法

本文探求了工具上应用最广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理，并着重讨论了在该系统中影响金刚石薄膜质量的几个因素:预处理技术、碳源浓度、温度和气压。根据影响因素制定出了最优的工艺参数，最后在硬质合金上得到了均匀而致密的金刚石薄膜，经XRD分析，由 (111)和(220)晶面组成，主要是(111)面，晶粒尺寸平均为113.5nm。