论文部分内容阅读
提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计.通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性梁上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号,从而测出加速度大小.研究表明:这种加速度计的灵敏度可明显提高.同时采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示系统测量范围可达100g、工作模态固有频率为209036 Hz.