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采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件，具有抗干扰能力强，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小，耐腐蚀，耐高温的特点。本文主要介绍其原理、感压元件设计，并对非线性等相关技术及工问题进行了探讨。
基子厚膜技术的电容式集成压力传感器的感压元件研究
【摘 要】
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采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件，具有抗干扰能力强，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小，耐腐蚀，耐高温的特点。本文主要介绍其原理、感压元件设计，并对非线
【机 构】
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中国科学院合肥智能机制研究所,传感技术
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2001年4期
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