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本文综述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）技术制备ＺｎＳ：Ｍｎ交流薄膜电致发光（ＡＣＴＦＥＬ）器件的发展历史及研究现状，对各种改进技术和使用的原材料进行了比较，并指出进一步的研究方向。
MOCVD技术制备ZnS：MnACTFEL器件的进展
【摘 要】
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本文综述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）技术制备ＺｎＳ：Ｍｎ交流薄膜电致发光（ＡＣＴＦＥＬ）器件的发展历史及研究现状，对各种改进技术和使用的原材料进行了比较，并指出进一步的研究方向。
【出 处】
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光电技术
【发表日期】
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1995年2期
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