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近10年来,MEMS制作技术发展迅速,一种不同于电学参量读出FPA的方法被提出。这种方法基于双层材料微悬臂梁阵列受热变形,利用光学方法检测出微悬臂梁阵列的热变形分布,从而获得物体的红外成像,成本也相对较低。
从之前的研究成果来看,有序排列的碳纳米管薄膜和金属两种材料作为FPA中双材料微悬臂梁结构可以在温度灵敏度及热响应时间两个方面都具有显著的优势。在这一项目中,赵旸团队以实验为主要手段,将材料制备、系统建模、产品优化等步骤有机结合,尤其对于有序排列碳纳米管薄膜与金属双材料微悬臂梁结构的热—力—光耦合的微机械系统进行设计与优化。相比于现有的研究成果,这一项目研制的FPA将有效地提升红外响应的灵敏性和温度精度,开发出性能更优异的FPA,并为其产业化做好技术储备。
科研是逐渐积累进步的过程,赵旸表示,自己在中国科学技术大学精密仪器与精密制造系刚刚起步,一切还在积累阶段,需要做的东西还有很多。而面对自己的科研成果,她总是谦虚地表示自己需要更加努力。
十几年来,赵旸一直在科研领域默默付出着,岁月更迭,万事万物都在变化,但她对于科研工作的那份“深情”从未改变。今后,她还将不忘初心,在纳米领域研究中一往无前,做出更多优秀的科研成果!