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红外光谱薄膜的种类不但少，而且机械强度较差，尤其在中红外波段更是如此。根据薄膜光学理论计算了ＺｎＳ／Ｇｅ／ＺｎＳ、ＣｄＴｅ／Ｇｅ／ＣｄＴｅ和ＺｎＳＧｅ／ＺｎＳｅ三种ＡＲＣ组合的反射率和透射率。详细分析研究了吸收和色散对ＺｎＳ／Ｚｎｓ珠光谱选特性最好，吸收和色散对薄膜的光谱特性有一定影响。相对而言ＺｎＳ薄膜的机械强度较好。在在理论计算的基础上，利用离了束辅助沉积方法制备ＺｎＳ薄膜，检测分析了薄膜的光