钛酸锶钡(BST)薄膜SOL-GEL制备方法研究

• 作 者: 李桂英 肖定全 余萍 朱建国
• 机 构: 四川大学,材料科学系,四川,成都,610064
• 出 处: 哈尔滨理工大学学报
• 发表日期: 2002年6期
• 关键词: BST薄膜 溶胶-凝胶法 铁电薄膜

利用碳酸盐代替部分醇盐,探讨了采用So1-Gel技术制备Ba1-xSrxTiO3(BST)铁电薄膜的可行性.以醋酸钡[Ba(CH3COO)2]、碳酸锶[SrCO3]和钛酸四丁酯[Ti(OC4H9)4]作原料,运用一般的So1-Gel工艺制备BST铁电薄膜,通过XRD分析物质结构,用SEM测定表面形貌,XPS及EDAX测定薄膜的组成.结果表明:采用碳酸锶原料和其他醇盐一起来制备BST铁电薄膜的方法是可行的.