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角度基准中莫尔条纹细分的研究
角度基准中莫尔条纹细分的研究
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxjxz33371
【摘 要】
:
在圆光栅用于角度基准研究中采用莫尔条纹的电载波调制电细分,反一对正交的莫尔条纹信号分成20000等分,并可实现仪器的动态和静态测量,还能动态检测光学度盘和圆光栅。
【作 者】
:
张建华
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
计量光栅
莫尔条纹细分
角度测量
Metrology grating
Moire fringe interpolation
Angle measurement
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在圆光栅用于角度基准研究中采用莫尔条纹的电载波调制电细分,反一对正交的莫尔条纹信号分成20000等分,并可实现仪器的动态和静态测量,还能动态检测光学度盘和圆光栅。
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