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近年来,我国制造业开始向高科技产业大幅度拓展,晶圆半导体、液晶面板高新产业发展迅速,随着制程工艺水平、产能的不断提升,洁净厂房内VOC含量越来越高,正在逐步受到从业者的关注。本文从主流的VOC去除方法开始,分析探讨控制处理洁净室内VOC比较可行的方法。
洁净厂房内VOC控制方案探讨与实施
【摘 要】
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近年来,我国制造业开始向高科技产业大幅度拓展,晶圆半导体、液晶面板高新产业发展迅速,随着制程工艺水平、产能的不断提升,洁净厂房内VOC含量越来越高,正在逐步受到从业者的
【机 构】
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深圳市华星光电技术有限公司
【出 处】
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中国房地产业
【发表日期】
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2015年08期
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