【摘 要】
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据报道日本东芝采用了非晶硅膜,研制成高灵敏度并有200万象素的CCD摄象器。该摄象器采用了对于从外部来的光有高灵敏度的非晶硅膜。有2台阶结构。因此,象素中受光部占有的孔
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据报道日本东芝采用了非晶硅膜,研制成高灵敏度并有200万象素的CCD摄象器。该摄象器采用了对于从外部来的光有高灵敏度的非晶硅膜。有2台阶结构。因此,象素中受光部占有的孔径率为100%,从光转到电信号的转换效率为60~70%。采用了1μm的微细加工技术,在16.2×10.5mm芯片上集成了200万个象素。还将存贮型二级管布置成锯齿形,使得
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