【摘 要】
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一、前言 JK-1型接近、接触两用半自动光刻机,是光电所同志们三年来积极努力、辛勤劳动的结晶,是一项重大研究成果。为了对机器性能做初步了解和判断。80年10月份,我所派出
【机 构】
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中国科学院半导体所JK-1型光刻机工艺实验组,
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一、前言 JK-1型接近、接触两用半自动光刻机,是光电所同志们三年来积极努力、辛勤劳动的结晶,是一项重大研究成果。为了对机器性能做初步了解和判断。80年10月份,我所派出两位同志在光电所进行了为期两个多月的光刻机性能指标初步工艺试验。并于
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