【摘 要】
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<正> 虽然上述单个元件为研究工作带来了许多问题和机会,但最重要和最难的问题是把这些器件集成起来,那怕只集成几个器件。这些困难已被很好地编入文献;人们一直在努力克服这
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<正> 虽然上述单个元件为研究工作带来了许多问题和机会,但最重要和最难的问题是把这些器件集成起来,那怕只集成几个器件。这些困难已被很好地编入文献;人们一直在努力克服这些困难,具有代表性的例子便是刻蚀再生长制造技术和混成方法。化合物半导体微电子技术工程研究中心正在研究一种不同的方法,如果成功的话,可以把它们称之为Ⅲ—Ⅴ族光电子集成电路,它是目前硅集成电路技术的模拟。以后,所有的器件都用原始基片材料
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