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建立了电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）对光伏用多晶硅中B，Cu，Fe，Al，K，Ca，Cr，Mn，Fe，Co，Ni，Cu，Zn，As，Mo，W，Cd，Ph共计18个可能共存的杂质元素同时定量测定的方法。以硝酸、氢氟酸分解多晶硅试样，称重法确定加入试剂的量。采用动态反应池（DRC）技术，在池内引入氨气（NH3）作为反应气体来消除质谱干扰。在选定的条件下，被测元素的检出限为0.8-6.9Pg／g（3a），样品的加标回收率在83.0％-106％之间，相对标准偏差（RSD）为0.27％-2.7％（n=11）