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一种金属基带上制备氧化物阻隔层的热处理方法
一种金属基带上制备氧化物阻隔层的热处理方法
来源 :稀有金属快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dasaqa
【摘 要】
:
涉及一种利用金属有机物沉积在金属基带表面制备具有单一织构成分的氧化物阻隔层的热处理方法。其特征在于热处理过程是在快速流动的还原性气体的气氛下,进行热处理的。本发明
【机 构】
:
西北有色金属研究院
【出 处】
:
稀有金属快报
【发表日期】
:
2008年4期
【关键词】
:
热处理方法
金属有机物
表面制备
阻隔层
氧化物
基带
还原性气体
热处理过程
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涉及一种利用金属有机物沉积在金属基带表面制备具有单一织构成分的氧化物阻隔层的热处理方法。其特征在于热处理过程是在快速流动的还原性气体的气氛下,进行热处理的。本发明的在前驱有机物热分解阶段利用大流速气体迅速将低含碳气体的浓度,加速前驱膜分解;随后的成相热处理阶段,减小气体流量,
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