一种金属基带上制备氧化物阻隔层的热处理方法

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涉及一种利用金属有机物沉积在金属基带表面制备具有单一织构成分的氧化物阻隔层的热处理方法。其特征在于热处理过程是在快速流动的还原性气体的气氛下,进行热处理的。本发明的在前驱有机物热分解阶段利用大流速气体迅速将低含碳气体的浓度,加速前驱膜分解;随后的成相热处理阶段,减小气体流量,
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